上海CVD氣相沉積法廠家直銷
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設備名稱 |
CVD氣相沉積爐（2020.11.3——升利實驗室審核） |
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主要特點 |
· 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低試驗溫度。 · *高溫度可達1200℃。 · 雙層殼體結構，并帶有風冷系統，可有效降低殼體表面溫度。 ·? 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。 · 開門斷電，提高實驗**性。 · 客戶可根據需求選購雙溫區沉積爐。 · 可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如 碳、Zno納米管或納米線及單層石墨烯等。
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基本參數 |
· *高溫度: 1200℃（≤30min） 工作溫度: 1100℃ · 推薦升溫速率:≤10℃/min · 電壓：220V · 額定功率：3KW · 爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管
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爐管尺寸 |
· Φ40*1200mm · Φ60*1500mm · Φ80*1500mm · Φ60*1800mm · Φ80*1800mm · Φ100*1200mm
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真空系統 |
· 采用TRP-12的雙旋真空泵； · KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； · 真空度可達10-2Torr。
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質保 |
· 一年保修，終身技術支持。 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
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